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Defect control in semiconductors: proceedings of the International Conference on the Science and Technology of Defect Control in Semiconductors, the Yokoham 21st century forum, Yokohama, Japan, Septem

Defect control in semiconductors: proceedings of the International Conference on the Science and Technology of Defect Control in Semiconductors, the Yokoham 21st century forum, Yokohama, Japan, Septem (10회 대출)

자료유형
단행본
개인저자
Sumino, K.
서명 / 저자사항
Defect control in semiconductors: proceedings of the International Conference on the Science and Technology of Defect Control in Semiconductors, the Yokoham 21st century forum, Yokohama, Japan, September 17-22 1989 / edited by K. Sumino.
발행사항
Amsterdam ;   New York :   North-Holland :   New York, N.Y., U.S.A. :   Distributors for the U.S. and Canada, Elsevier Science Pub. co. ,   1990.  
형태사항
2 v. : Ill. ; 27 cm.
내용주기
v. 1.: xxviii, 972, xliv p. -- v. 2: various pagings
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