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| 110 | ▼a 한국과학기술정보연구원. ▼b 기술정보분석실 ▼0 AUTH(211009)162510 | |
| 245 | 1 0 | ▼a MEMS(Micro electro mechanical system) 기술 / ▼d 기술정보분석실. |
| 260 | ▼a 서울 : ▼b 한국과학기술정보연구원, ▼c 2005. | |
| 300 | ▼a 111 p. ; ▼c 24 cm. | |
| 440 | 0 0 | ▼a 2005 첨단기술 정보분석 ; ▼v BA455 |
| 740 | ▼a MEMS 기술 | |
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소장정보
| No. | 소장처 | 청구기호 | 등록번호 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 |
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| No. 1 | 소장처 과학도서관/Sci-Info(1층서고)/ | 청구기호 621.381 2005i | 등록번호 121144325 (9회 대출) | 도서상태 대출가능 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 |
컨텐츠정보
목차
목차 제1장 서언 = 1 제2장 아날로그 마이크로 파워 FET기술 = 3 제3장 Soft-MEMS 기술을 구사한 바이오 메디컬 센서 = 13 제4장 생의학 캡슐 진단용 저전력 무선 센서 마이크로 시스템 = 25 제5장 MEMS에 이용되는 자성재료(磁性材料) = 39 제6장 마이크로 전자기계장치와 실장(室裝) 기술 = 51 제7장 고집적 패키지를 위한 마이크로 접속 및 범프 형성 기술 = 63 제8장 MEMS 기술을 이용한 밀리미터파 대역 패키징 기술 = 71 제9장 MEMS를 이용한 새로운 고주파기술 = 81 제10장 RF MEMS의 집적화 기술 = 91 제11장 바이오 멤스 리뷰: 생리학적으로 집적된 소자를 위한 멤스 기술 = 101