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반도체 집적 공정 (4회 대출)

자료유형
단행본
개인저자
May, Gary S., 1964- Sze, S. M., 1936-, 저 박재근, 朴在勤, 1959-, 역 곽계달, 郭桂達, 1950-, 역 김태환, 金太煥, 1957-, 역 박종완, 朴鍾完, 1948-, 역 전형탁, 全鎣卓, 1960-, 역
서명 / 저자사항
반도체 집적 공정 / Gary S. May, Simon M. Sze ; 박재근 [외]옮김
발행사항
서울 :   텍스트북스,   2024  
형태사항
xi, 334 p. : 삽화, 도표 ; 26 cm
원표제
Fundamentals of semiconductor fabrication
ISBN
9791191679205
일반주기
공역자: 곽계달, 김태환, 박종완, 전형탁  
부록: A. 기호 목록, B. 단위 (SI 단위), C. 단위용 접두어 외  
서지주기
참고문헌과 색인수록
일반주제명
Semiconductors --Design and construction Integrated circuits --Design and construction
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소장정보

No. 소장처 청구기호 등록번호 도서상태 반납예정일 예약 서비스
No. 1 소장처 과학도서관/Sci-Info(1층서고)/ 청구기호 621.38152 2024z2 등록번호 121266791 (4회 대출) 도서상태 대출가능 반납예정일 예약 서비스 B M

컨텐츠정보

목차

지은이 머리말 iii
옮긴이 머리말 v
제1장 서 론
제2장 결정 성장
제3장 실리콘 산화
제4장 광 노광 공정
제5장 식각 공정
제6장 확 산
제7장 이온 주입
제8장 박막 증착
제9장 집적 공정
제10장 IC 제조
제11장 미래의 추세와 도전
부록
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