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초고속 반도체 공정 시뮬레이션 코드 개발. [2001]

초고속 반도체 공정 시뮬레이션 코드 개발. [2001]

자료유형
단행본
개인저자
원태영, 연구
단체저자명
인하대학교
서명 / 저자사항
초고속 반도체 공정 시뮬레이션 코드 개발 = Development of supercomputing code for semiconductor process simulation. [2001] / 인하대학교 [편].
발행사항
[과천] :   과학기술부,   2001.  
형태사항
51 p. : 삽도 ; 30 cm.
일반주기
본 보고서는 "초고속 컴퓨터 기반 소프트웨어 및 응용기술 개발(High Speed Computer Based S/W and Applicaiton Research)"의 세부과제임  
연구책임 : 원태영  
서지주기
참고문헌수록
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740 ▼a High Speed Computer Based S/W and Applicaiton Research
740 ▼a High Speed Computer Based Software and Applicaiton Research
740 ▼a Development of supercomputing code for semiconductor process simulation
740 ▼a 초고속 컴퓨터 기반 소프트웨어 및 응용기술 개발

소장정보

No. 소장처 청구기호 등록번호 도서상태 반납예정일 예약 서비스
No. 1 소장처 과학도서관/보존서고5(동양서)/ 청구기호 621.38152 1999n 2001 등록번호 121083499 도서상태 대출가능 반납예정일 예약 서비스 B M

컨텐츠정보

목차

목차

[표제지 등]=0,1,2

제출문=1,3,1

요약문=2,4,6

목차=8,10,1

제1장 서론=9,11,1

제1절 연구개발의 경제ㆍ사회ㆍ기술적 필요성=9,11,2

제2절 연구개발의 최종 목표 및 범위=11,13,1

제2장 국내외 기술개발 현황=12,14,1

제1절 국ㆍ내외 관련분야에 대한 최근의 환경변화와 기술개발 현황=12,14,2

제2절 최종 연구 결과에 대한 기술 개발 현황 검토분석=14,16,1

제3장 연구개발수행 내용 및 결과=15,17,1

제1절 반도체 공정 시뮬레이션을 위한 병렬 컴퓨팅 환경 구축=15,17,3

제2절 병렬 3차원 메쉬 생성기 개발=18,20,5

제3절 3차원 극저 에너지 이온주입 시뮬레이터 개발=23,25,7

제4절 3차원 초고속 병렬 토포그래피 시뮬레이션=30,32,11

제5절 Full-chip 인터커넥트 시뮬레이터 개발=41,43,2

제4장 연구개발 목표 달성도 및 대외기여도=43,45,1

제1절 연구개발 목표 달성도=43,45,2

제2절 관련분야의 기술발전 기여도=44,46,2

제3절 연구성과=45,47,3

제5장 연구개발결과의 활용계획=48,50,1

제1절 기술적, 경제ㆍ산업적, 교육적 측면=48,50,1

제2절 추가연구의 필요성 및 타연구에의 응용-PC 상에서의 병렬 클러스터링의 연구=49,51,1

제3절 기업화 추진방안=49,51,1

제6장 참고문헌=50,52,2

영문목차

[title page etc.]=0,1,6

SUMMARY=5,7,2

CONTENTS=7,9,2

Chapter1 Introduction=9,11,3

Chapter2 Current research trends=12,14,3

Chapter3 Research results=15,17,1

Section1 Development of Parallel Computing Environment=15,17,3

Section2 Development of Three-dimensional Parallel Mesh Generator=18,20,5

Section3 Development of 3D Monte Carlo Simulator for Ion Implantation=23,25,7

Section4 Development of Three-dimensional Parallel Topography Simulator=30,32,11

Section5 Development of Three-dimensional Interconnect Simulator=41,43,2

Chapter4 Achievement of the research objects and a contribution to the related research area=43,45,5

Chapter5 Future application plans=48,50,2

Chapter6 References=50,52,2

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