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| 090 | ▼a 621.38152 ▼b 2005u | |
| 110 | ▼a 한국과학기술정보연구원. ▼b 기술정보분석실 ▼0 AUTH(211009)162510 | |
| 245 | 1 0 | ▼a 박막 형성 기술 / ▼d 기술정보분석실. |
| 260 | ▼a 서울 : ▼b 한국과학기술정보연구원, ▼c 2005. | |
| 300 | ▼a 95 p. ; ▼c 24 cm. | |
| 440 | 0 0 | ▼a 2005 첨단기술 정보분석 ; ▼v BA490 |
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소장정보
| No. | 소장처 | 청구기호 | 등록번호 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| No. 1 | 소장처 과학도서관/Sci-Info(1층서고)/ | 청구기호 621.38152 2005u | 등록번호 121144334 (6회 대출) | 도서상태 대출가능 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 |
컨텐츠정보
목차
목차 제1장 서언 = 1 제2장 투명 소수성 박막 설계 = 3 제3장 적층 산화물 박막재료의 합성과 특성 = 13 제4장 고품질 박막 형성용 고속 스퍼터링 박막형성장치 = 37 제5장 기판／박막계면에 있어서 확산과 편석반응을 예측하는 방법 = 47 제6장 전기도금법에 의한 고포화 자속 연자성 박막 개발 = 57 제7장 전장온수처리에 의한 티타니아 나노시트 분산박막 = 67 제8장 분자 캐비티를 가진 세라믹 나노박막의 제작 = 77 제9장 투명 산화물 반도체의 고품질 박막 성장 = 87