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| 245 | 0 0 | ▼a 반도체 Foundry 운영사업 = ▼x (The)service project of semiconductor foundry / ▼d 김보우 연구책임. |
| 260 | ▼a 서울 : ▼b 한국전자통신연구원, ▼c 2008. | |
| 300 | ▼a xxx, 77 p. : ▼b 삽도 ; ▼c 27 cm. | |
| 500 | ▼a 공동연구: 강진영, 구진근, 윤용선, 박종문, 유성욱, 박건식, 임병원, 배윤규, 김상기, 이병택, 외 | |
| 700 | 1 | ▼a 김보우, ▼e 연구책임 |
| 710 | ▼a 한국전자통신연구원 ▼0 AUTH(211009)97982 | |
| 945 | ▼a KINS |
소장정보
| No. | 소장처 | 청구기호 | 등록번호 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| No. 1 | 소장처 과학도서관/Sci-Info(1층서고)/ | 청구기호 621.38152 2008z10 | 등록번호 121183432 | 도서상태 대출가능 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 |
컨텐츠정보
목차
제1장 서론 = 1
제2장 반도체 소자 및 공정기술 개발 = 5
제1절 서론 = 7
제2절 군사용 IR 센서 소자기술 = 9
1. 서론 = 9
2. 문헌조사 및 실험방법 = 10
가. 포토다이오드의 단면구조 설정 = 10
나. 반반사막의 선정 = 11
다. 공핍층 두께에 대한 고찰 = 12
라. 포토다이오드의 제작 = 16
3. 측정 및 분석 결과 = 18
4. 결론 = 21
제3절 미세패턴 형성 공정기술 개발 = 23
1. 서론 = 23
2. 공정실험 = 23
가. 실험방법 = 23
나. 공정 결과 및 분석 = 25
3. 결론 = 32
제4절 고온열처리 공정 실험 = 33
1. 서론 = 33
2. 공정실험 = 33
3. 결론 = 39
제5절 결론 = 40
제3장 반도체시설 운영기술 개발 = 43
제1절 서론 = 45
제2절 IT 융합 실험실 운영 = 47
1. IT 융합 실험실 공정운영 = 47
가. 원내 반도체 소자 및 공정 제작지원 = 48
2. IT 융합 실험실 공정장비 유지보수 = 51
제3절 반도체 유틸리티 시설운영 = 55
1. 반도체 유틸리티 운영 = 55
2. 시설의 유지 및 보수 = 61
3. 환경 관리 = 65
제4절 결론 = 68
제4장 결론 및 건의사항 = 71