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| 245 | 1 0 | ▼a Semiconductor lithography : ▼b principles, practices, and materials / ▼c Wayne M. Moreau. |
| 260 | ▼a New York : ▼b Plenum Press, ▼c c1988. | |
| 300 | ▼a xx, 931 p. : ▼b ill. ; ▼c 26 cm. | |
| 440 | 0 | ▼a Microdevices. |
| 504 | ▼a Includes bibliographies and index. | |
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소장정보
| No. | 소장처 | 청구기호 | 등록번호 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| No. 1 | 소장처 과학도서관/Sci-Info(2층서고)/ | 청구기호 621.38152 M837s | 등록번호 421044753 (9회 대출) | 도서상태 대출가능 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 |