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| 245 | 0 0 | ▼a Modeling of film deposition for microelectronic applications / ▼c edited by Stephen Rossnagel. |
| 260 | ▼a San Diego : ▼b Academic Press, ▼c c1996. | |
| 300 | ▼a xiv, 291 p. : ▼b ill. ; ▼c 24 cm. | |
| 490 | 1 | ▼a Thin films ; ▼v v. 22. |
| 504 | ▼a Includes bibliographical references and indexes. | |
| 650 | 0 | ▼a Thin films ▼x Computer simulation ▼x Congresses. |
| 700 | 1 | ▼a Rossnagel, Stephen M. |
| 830 | 0 | ▼a Thin films (San Diego, Calif.) |
소장정보
| No. | 소장처 | 청구기호 | 등록번호 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| No. 1 | 소장처 과학도서관/Sci-Info(2층서고)/ | 청구기호 621.38152 M689 | 등록번호 121031527 (5회 대출) | 도서상태 대출가능 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 |