제1장 연구개발동향 조사배경 = 3
1.1 국제학술회의 개요 = 3
1.2 국제학술회의 개최 일시 및 장소, 개최 규모 등 = 3
1.3 국제학술회의 조직위원회 구성 현황 및 주요 참석인사 등 = 3
1.4 국제학술회의 개최 배경과 목적 = 5
1.5 국내 유치·개최의 목적 = 7
1.6 국제학술회의 개최에 따른 기대효과 = 7
제2장 플라즈마기술 개요 = 9
2.1 플라즈마 기술 = 10
2.2 플라즈마 공정기술 원리 = 10
2.3 플라즈마 산업 응용 = 12
2.4 플라즈마 표면처리 기술 = 13
2.5 플라즈마 코팅 기술 = 14
2.6 플라즈마 에칭 및 환경정화 = 15
2.7 플라즈마의 디스플레이 및 전자산업 응용 = 16
제3장 플라즈마 기술의 전반적 국내·외 기술개발 현황 = 19
제4장 플라즈마기술의 국내·외 세부 기술개발 현황 = 26
4.1 국내 기술개발 현황 = 26
4.2 국외 기술개발 현황 = 28
제5장 분야별 플라즈마 기술의 국내·외 기술개발현황 = 30
5.1 Plasma Etching = 30
5.1.1 국내 기술개발 현황 = 30
5.1.2 국외 기술개발 현황 = 33
5.2 Plasma Enhanced CVD = 34
5.2.1 국내 기술개발 현황 = 34
5.2.2 국외 기술개발 현황 = 34
5.3 PVD = 44
5.3.1 국내 기술개발 현황 = 44
5.3.2 국외 기술개발 현황 = 45
5.4 Bio related Plasma = 47
5.4.1 국내 기술개발 현황 = 48
5.4.2 국외 기술개발 현황 = 48
5.5 플라즈마의 모델링 및 시뮬레이션 = 52
5.5.1 국내 기술개발 현황 = 53
5.5.2 국외 기술개발 현황 = 54
5.6 Plasma Sources and Diagnostics = 56
5.6.1 Plasma Sources = 56
5.6.2 Plasma Diagnostics = 57
5.7 Inductively Coupled Plasma의 응용 = 60
