상세정보

목차
Chapter 0 서론 : 플라즈마 전자공학 = 7
Q＆A = 15
Chapter 1 플라즈마 기초 = 16
 1.1 플라즈마 정의 = 16
 1.2 기체로서의 플라즈마 = 17
 1.3 플라즈마 단위 및 변수 = 23
 1.4 속도, 속력 및 에너지 분포 함수 = 27
 1.5 플라즈마 유체 방정식 = 35
 1.6 플라즈마의 집단 행동 = 36
 1.7 플라즈마 구조 = 42
 1.8 플라즈마 존재 조건 = 48
 1.9 전자기장 내에서의 전하들의 운동 = 49
 1.10 플라즈마의 확산 = 53
 Q＆A = 66
Chapter 2 플라즈마 발생 = 70
 2.1 플라즈마 장비 구성 및 진공 기초 = 70
 2.2 플라즈마 소스 = 76 
 2.3 라디오 주파수 플라즈마 = 85
 2.4 플라즈마 소스 해석 = 111
 Q＆A = 122
Chapter 3 플라즈마 화학 반응 = 125
 3.1 원자, 분자의 에너지 준위 = 127
 3.2 플라즈마 내의 화학 반응 = 132
 3.3 플라즈마 표면 상호작용 = 133
 Q＆A = 157
Chapter 4 플라즈마 공정 = 160
 4.1 플라즈마 식각 = 162
 4.2 플라즈마 증착 = 169
 4.3 최근 반도체 소자 공정 동향 및 이슈 = 182
 4.4 플라즈마에 의한 손상 = 185
 Q＆A = 188
Chapter 5 플라즈마 측정 및 진단 = 189
 5.1 전기적 진단 방법 = 190 
 5.2 광학적 진단 방법 = 207
 5.3 RF＆microwave 측정법 = 215
 Q＆A = 225
Chapter 6 플라즈마 소스 공학 = 227
 6.1 펄스 플라즈마 = 227
 6.2 펄스 플라즈마 임피던스 매칭 = 233
 6.3 플라즈마 소스에서 구동 주파수 효과 = 238
 6.4 플라즈마 소스에서 균일도 해결 방안 = 240
 6.5 ICP와 CCP 하이브리드 플라즈마 특성 = 248
 6.6 ICP에서 E-H 전이 현상 = 250
 6.7 스미스차트와 임피던스 매칭 = 255
 6.8 플라즈마 발생 효율 측정 = 259
 6.9 플라즈마 공정 모니터링 = 261
 Q＆A = 267
Chapter 7 부록 = 271
 7.1 볼츠만 관계 유도(통계역학적 관점) = 271 
 7.2 CCP 균일 모델(homogeneous model) = 273
 7.3 전자 에너지 분포 함수와 탐침 전류 관계 = 280
 7.4 동력학 방정식(Kinetic Equation) = 282
 7.5 자기 모멘트 불변 = 286
 7.6 유체 운동에 대한 랑그랑지와 오일러 관점 = 287
 7.7 비국부적 동력학(Nonlocal electron kinetics) = 289
 7.8 확산에 대한 동력학적 관점 = 291
 7.9 면적비에 따른 DC 전압 효과 = 292
 7.10 플라즈마에서의 파동 = 295
 7.11 원자 분자 데이터 = 298
 7.12 물리 상수 = 297
 7.13 단위 변환 = 300
 7.14 플라즈마 주요 공식 및 실용 변수 = 300
참고문헌 = 302
찾아보기 = 303