제1장 기술개발과제의 개요 = 1
제1절 연구 개발의 필요성 = 1
제2절 연구 개발의 범위 및 목적 = 4
제2장 국내외 기술개발 현황 = 5
제1절 액츄에이터 = 5
제2절 액츄에이터 응용품 = 8
제3장 기술개발수행 내용 및 결과 = 10
제1절 저온 소성 압전소재 및 전극 소재 개발 = 10
제2절 고적층 압전 액츄에이터 제작 = 14
제3절 변위확대기구 설계 및 평가 = 22
제4절 스위치 및 차단기용 액츄에이터 조작기 = 31
제4장 목표 달성도 및 관련분야에의 기여도 = 40
제1절 목표 달성도 = 40
제2절 관련분야에의 기여도 = 41
제5장 기술개발결과의 활용계획 = 42
제1절 참여기업의 기업화 추진 방안 = 42
제6장 개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 = 44
제1절 액츄에이터 = 44
제2절 압전 액츄에이터 응용품 = 48
제7장 참고문헌 = 49
저온소성용 압전 세라믹 소재 및 전극소재 연구
제1장 기술개발과제의 개요 = 1
제2장 국내외 기술개발 현황 = 4
제3장 기술개발수행 내용 및 결과 = 7
제1절 개요 = 7
제2절 실험방법 = 10
제3절 결과 및 고찰 = 28
제4장 목표 달성도 및 관련분야에의 기여도 = 42
제1절 목표 달성도 = 42
제2절 관련분야에의 기여도 = 42
제5장 기술개발결과의 활용계획 = 43
제6장 개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 = 43
유체제어용 적층 압전 밸브 개발
제1장 기술개발과제의 개요 = 1
제2장 국내외 기술개발 현황 = 4
제3장 기술개발수행 내용 및 결과 = 10
제1절 저온소결 압전 세라믹 = 10
제2절 적층형 액츄에이터 = 20
제3절 압전 밸브 = 30
제4절 Si-basd 압전 후막 액츄에이터 = 61
제5절 Si-basd 저온 압전박막 = 67
제4장 목표 달성도 및 관련분야에의 기여도 = 70
제5장 기술개발결과의 활용계획 = 72
제6장 개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 = 74
