제1장 연구개발과제의 개요(Introduction) = 13
제1절 연구개발의 목적(Objectives of research) = 13
1. 연구개발의 목적(Objectives of research) = 13
2. 연구개발의 필요성(Need for development) = 13
가. ULMATI 신뢰성확보 기술개발의 필요성(Need for ULMATI reliable development) = 14
나. ULMATI 제작공정 기술개발의 필요성(Need for ULMATI fabrication technology development) = 14
다. 기업체와의 공동연구의 필요성(Need for Co-development with company) = 15
제2장 국내외 기술개발 현황(Research trend of domestic and international) = 17
제1절 국내외 기술개발 현황(Research trend of domestic and international) = 17
제3장 연구개발수행 내용 및 결과(Research content and results) = 19
제1절 마이크로 스프링 구조 설계(Design of micro spring structure) = 19
1. 재료(Ni-Co)의 물성 시험(Properties test of Ni-Co) = 19
가. Ni-Co의 물성 시험을 위한 시편 제작(Fabrication of Ni-Co sample for properties test) = 19
나. Nano-indentation을 이용한 물성 시험 결과(Results of properties test with nano-indentation) = 20
2. 시험모델의 구조설계(Design of sample) = 22
가. a model의 구조 해석(Structure analysis of a model) = 23
나. b model의 구조 해석(Structure analysis of b model) = 24
다. c model의 구조 해석(Structure analysis of c model) = 27
3. 최종 모델의 구조설계(Structure analysis of final model) = 30
제2절 신뢰성 시험 및 파라미터 도출(Reliablity test and parameter extraction) = 35
1. 마이크로 스프링 구조물의 특성 분석(Analysis of micro spring structure) = 35
가. 기계적 특성(Mechanical properties) = 35
나. 전기적 특성(Eletrical properties) = 39
제3절 상품화를 위한 신뢰성 공정기술 개발(Development of reliable fabrication process for commercialization) = 42
1. 고종횡비 구조물 제작을 위한 MRPBI 구축(Development of MRPBI for high aspect ratio structure) = 42
2. 고종횡비 몰드 제작을 위한 Deep-RIE 공정 개발(Development of Deep-RIE process for high aspect ratio structure) = 47
3. 전기도금 기술 개발(Development of electroplating process) = 50
4. 정전기력을 이용한 Comb Drive 개발(Development of Comb Drive based on electrostatic force) = 53
5. 상품화를 위한 수직형 MEMS 프로브 제작(Development of vertical MEMS for commercialization) = 55
6. 상품화를 위한 프로브 2차원 배열 개발(Development of 2D probe array for commercialization) = 58
제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도(Level of achievement of research target and contribution to society) = 59
제5장 연구개발결과의 활용계획(Future plan for utilizing research results) = 65
제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보(international technology during research) = 67
제7장 참고문헌(References) = 67
