| 000 | 00000nam c2200205 k 4500 | |
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| 005 | 20240925092704 | |
| 007 | ta | |
| 008 | 031013s1998 ggka 000a korBU | |
| 040 | ▼a 211009 ▼c 211009 ▼d 211009 | |
| 049 | 1 | ▼l 121036691 ▼f 과학 |
| 082 | 0 4 | ▼a 621.38152 ▼2 21 |
| 090 | ▼a 621.38152 ▼b 1998e | |
| 110 | ▼a 부산대학교 ▼0 AUTH(211009)94493 | |
| 245 | 1 0 | ▼a 차세대 반도체의 광역평탄화를 위한 CMP기술 개발 = ▼x Development of CMP Process for Global Planarization of ULSI / ▼d 부산대학교 [편]. |
| 260 | ▼a [과천] : ▼b 과학기술부, ▼c 1998. | |
| 300 | ▼a 123 p. : ▼b 삽도 ; ▼c 26 cm. | |
| 500 | ▼a 연구책임 : 정해도 | |
| 500 | ▼a 제3차년도 최종보고서 | |
| 500 | ▼a "반도체장비 생산설계 고도화 개발(CMP 가공시스템 개발)"에 관한 연구과제의 세부과제 연구보고서 | |
| 504 | ▼a 참고문헌수록 | |
| 700 | 1 | ▼a 정해도, ▼g 丁海島, ▼d 1961-, ▼e 연구 ▼0 AUTH(211009)145202 |
| 710 | ▼a 한국. ▼b 과학기술부, ▼e 편 ▼0 AUTH(211009)148152 | |
| 740 | ▼a Development of CMP Process for Global Planarization of ULSI | |
| 740 | ▼a 반도체장비 생산설계 고도화 개발(CMP 가공시스템 개발) | |
| 740 | ▼a CMP 가공시스템 개발 |
소장정보
| No. | 소장처 | 청구기호 | 등록번호 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| No. 1 | 소장처 과학도서관/보존서고3(동양서)/ | 청구기호 621.38152 1998e | 등록번호 121036691 (3회 대출) | 도서상태 대출가능 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 |