| 000 |
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| 001 |
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| 005 |
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| 007 |
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ta |
| 008 |
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| 035 |
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▼a KRIC07214169
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| 040 |
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▼a 248003
▼c 248003
▼d 211009
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| 049 |
1
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▼l 121041948
▼f 과학
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| 082 |
0
4
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▼a 621.38152
▼2 21
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| 090 |
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▼a 621.38152
▼b 1998i
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| 110 |
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▼a 한양대학교
▼0 AUTH(211009)148154
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| 245 |
1
0
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▼a CMP 세정기술 개발 =
▼x Development of CMP cleaning technology /
▼d 한양대학교 연구.
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| 260 |
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▼a [과천] :
▼b 과학기술부,
▼c 1998.
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| 300 |
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▼a 52 p. :
▼b 삽도 ;
▼c 26 cm.
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| 500 |
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▼a "반도체장비 생산 설계 고도화 개발"의 세부과제임.
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| 500 |
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▼a 연구책임 : 박진구
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| 504 |
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▼a 참고문헌수록
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| 700 |
1
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▼a 박진구,
▼e 연구
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| 710 |
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▼a 한국.
▼b 과학기술부,
▼e [편]
▼0 AUTH(211009)148152
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| 740 |
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▼a Development of CMP cleaning technology.
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| 740 |
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▼a 반도체장비 생산 설계 고도화 개발.
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| 950 |
0
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▼a 기증
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