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| 005 | 20241015113332 | |
| 007 | ta | |
| 008 | 011204s1998 ggka 000a korBU | |
| 035 | ▼a KRIC07214169 | |
| 040 | ▼a 248003 ▼c 248003 ▼d 211009 | |
| 049 | 1 | ▼l 121041948 ▼f 과학 |
| 082 | 0 4 | ▼a 621.38152 ▼2 21 |
| 090 | ▼a 621.38152 ▼b 1998i | |
| 110 | ▼a 한양대학교 ▼0 AUTH(211009)148154 | |
| 245 | 1 0 | ▼a CMP 세정기술 개발 = ▼x Development of CMP cleaning technology / ▼d 한양대학교 연구. |
| 260 | ▼a [과천] : ▼b 과학기술부, ▼c 1998. | |
| 300 | ▼a 52 p. : ▼b 삽도 ; ▼c 26 cm. | |
| 500 | ▼a "반도체장비 생산 설계 고도화 개발"의 세부과제임. | |
| 500 | ▼a 연구책임 : 박진구 | |
| 504 | ▼a 참고문헌수록 | |
| 700 | 1 | ▼a 박진구, ▼e 연구 |
| 710 | ▼a 한국. ▼b 과학기술부, ▼e [편] ▼0 AUTH(211009)148152 | |
| 740 | ▼a Development of CMP cleaning technology. | |
| 740 | ▼a 반도체장비 생산 설계 고도화 개발. | |
| 950 | 0 | ▼a 기증 |
Holdings Information
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|---|---|---|---|---|---|---|---|
| No. 1 | Location Science & Engineering Library/Sci-Info(Stacks1)/ | Call Number 621.38152 1998i | Accession No. 121041948 (1회 대출) | Availability Available | Due Date | Make a Reservation | Service |