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| 035 | ▼a KRIC07181631 | |
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| 049 | 1 | ▼l 121036740 ▼f 과학 |
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| 090 | ▼a 621.38152 ▼b 1998b ▼c 1998 | |
| 245 | 0 0 | ▼a 반도체 장비 생산 설계 고도화 개발 : ▼b CMP 가공 시스템 개발 = ▼x Development of advanced design technology for manufacturing system of semiconductor : Development of CMP System. ▼n [1998] / ▼d 한국기계연구원...[등]연구. |
| 260 | ▼a [과천] : ▼b 과학기술부, ▼c 1998. | |
| 300 | ▼a 1책(면수복잡) : ▼b 삽도 ; ▼c 26 cm. | |
| 500 | ▼a "반도체 장비 생산 설계 고도화 개발"과제 (세부과제 "CMP 가공 시스템의 설계 및 제작 기술 개발")의 1단계 최종보고서임 | |
| 500 | ▼a 연구책임 : 이응숙, 강재훈 | |
| 700 | 1 | ▼a 한국기계연구원, ▼e 연구 ▼0 AUTH(211009)107412 |
| 700 | 1 | ▼a 이응숙, ▼e 연구 |
| 700 | 1 | ▼a 강재훈, ▼e 연구 |
| 710 | ▼a 부산대학교, ▼e 연구 ▼0 AUTH(211009)94493 | |
| 710 | ▼a 한양대학교, ▼e 연구 ▼0 AUTH(211009)148154 | |
| 710 | ▼a 한국과학기술원, ▼e 연구 ▼0 AUTH(211009)35854 | |
| 710 | ▼a 한국. ▼b 과학기술부, ▼e 편 ▼0 AUTH(211009)148152 | |
| 740 | ▼a CMP 가공 시스템 개발. | |
| 740 | ▼a Development of advanced design technology for manufacturing system of semiconductor : Development of CMP System | |
| 740 | ▼a Development of CMP System |
Holdings Information
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|---|---|---|---|---|---|---|---|
| No. 1 | Location Science & Engineering Library/Stacks 3(Eastern Books)/ | Call Number 621.38152 1998b 1998 | Accession No. 121036740 (1회 대출) | Availability Available | Due Date | Make a Reservation | Service |