고려대학교 세종학술정보원

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메모리 커패시터용 Pb(Zrx Ti1-x )O₃강유전체 박막의 제작과 특성 (Loan 4 times)

Material type

단행본

Personal Author

장지근, 저 임성규, 저 장호연, 저

Title Statement

메모리 커패시터용 Pb(Zrx Ti1-x )O₃강유전체 박막의 제작과 특성 / 張志根 ; 林聖奎 ; 張鎬延共著.

Publication, Distribution, etc

서울 : 集文堂 , 1996.

Physical Medium

78 p. : 삽도 ; 23 cm.

Series Statement

峨山財團硏究報告書 ; 第21輯

ISBN

8930300979

Bibliography, Etc. Note

참고문헌: p.76-78

비통제주제어

메모리 커패시터용, 강유전체 박막 , Pb(Zr Ti )O₃,,

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Holdings Information

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No. 1	Location Science & Engineering Library/Stacks 3(Eastern Books)/	Call Number 621.38152 1996b	Accession No. 121028064 (3회 대출)	Availability Available	Due Date	Make a Reservation	Service B M
No. 2	Location Sejong Academic Information Center/Science & Technology/	Call Number 621.38152 1996b	Accession No. 151043070	Availability Loan can not(reference room)	Due Date	Make a Reservation	Service M ?
No. 3	Location Sejong Academic Information Center/Science & Technology/	Call Number 621.38152 1996b	Accession No. 151059469 (1회 대출)	Availability Loan can not(reference room)	Due Date	Make a Reservation	Service M ?
No. 4	Location Sejong Academic Information Center/Science & Technology/	Call Number 621.38152 1996b	Accession No. 151059470	Availability Loan can not(reference room)	Due Date	Make a Reservation	Service M ?

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No. 3	Location Sejong Academic Information Center/Science & Technology/	Call Number 621.38152 1996b	Accession No. 151059470	Availability Loan can not(reference room)	Due Date	Make a Reservation	Service M ?

Contents information

Author Introduction

장지근(지은이)

Information Provided By: :

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목차

제1장 서론 = 7

제2장 이론적 배경 = 13

 1) Pb(Zr,Ti)O₃(PZT) 재료의 기본성질 = 15

 2) PZT 박막의 메모리 커패시터 응용 = 18

제3장 RF Magnetron Sputtering 기술에 의한 PZT 박막의 제작 = 27

 1) 스퍼터링 타겟과 하부구조의 설계 = 29

 2) 시편 제작 = 32

 3) 측정방법 = 38

제4장 실험결과 및 고찰 = 41

 1) Pt/Ti/SiO₂/Si 하부구조 = 43

 2) PZT 박막의 상형성 = 44

 3) 형상관찰 및 성분분석 = 45

 4) PZT 커패시터의 전기적 특성 = 47

제5장 결론 = 71

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