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| 090 | ▼a 621.38152 ▼b 1998a | |
| 110 | ▼a 한국기계연구원 ▼0 AUTH(211009)107412 | |
| 245 | 1 0 | ▼a CMP 가공 시스템의 설계 및 제작 기술 개발 = ▼x Development of design and manufacturing technology for CMP for system / ▼d 한국기계연구원 연구. |
| 260 | ▼a [과천] : ▼b 과학기술부, ▼c 1998. | |
| 300 | ▼a 107 p. : ▼b 삽도 ; ▼c 26 cm. | |
| 500 | ▼a 연구책임 : 이응숙 / 강재훈 | |
| 500 | ▼a 제1단계최종보고서 | |
| 500 | ▼a 부록수록 | |
| 504 | ▼a 참고문헌수록 | |
| 700 | 1 | ▼a 이응숙, ▼e 연구 |
| 700 | 1 | ▼a 강재훈, ▼e 연구 |
| 710 | ▼a 한국. ▼b 과학기술부, ▼e 편 ▼0 AUTH(211009)148152 | |
| 740 | ▼a Development of design and manufacturing technology for CMP for system |
Holdings Information
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| No. 1 | Location Science & Engineering Library/Stacks 3(Eastern Books)/ | Call Number 621.38152 1998a | Accession No. 121036739 (2회 대출) | Availability Available | Due Date | Make a Reservation | Service |