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| 035 | ▼a KRIC08601467 | |
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| 088 | ▼a 03ZB1110-01-6306P | |
| 090 | ▼a 621.38152 ▼b 2003p | |
| 110 | ▼a 한국전자통신연구원 . ▼b 반도체공정운영팀 | |
| 245 | 1 0 | ▼a 반도체 Foundry 운영사업 = ▼x (The)service project of semiconductor foundry/ ▼d 한국전자통신연구원 반도체공정운영팀 [편]. |
| 260 | ▼a 서울 : ▼b 한국전자통신연구원 , ▼c 2003. | |
| 300 | ▼a xxxi, 121 p. : ▼b 삽도 ; ▼c 26 cm. | |
| 500 | ▼a 권두 요약문 및 Abstract 수록 | |
| 500 | ▼a 연구책임: 김보우 ▼a 참여연구원: 구진근, 윤용선, 박종문, 유성욱, 박건식, 임병원, 배윤규, 김상기, 이병택, 신동석, 김규열, 박병무, 이효현, 이주욱 | |
| 700 | 1 | ▼a 김보우 , ▼e 연구책임 |
소장정보
| No. | 소장처 | 청구기호 | 등록번호 | 도서상태 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| No. 1 | 소장처 과학도서관/Sci-Info(1층서고)/ | 청구기호 621.38152 2003p | 등록번호 121092425 (1회 대출) | 도서상태 대출가능 | 반납예정일 | 예약 | 서비스 |
컨텐츠정보
목차
제1장 서론 = 1 제2장 ASIC 소자 및 공정기술 개발 = 5 제1절 서론 = 7 제2절 입자 감지용 실리콘 PIN Diode 제작 = 10 1. 서론 = 10 2. 실험 방법 = 10 3. 측정 및 분석 = 13 4. 결론 = 29 제3절 적외선 감지용 실리콘 Photodiode 제작 = 32 1. 서론 = 32 2. 문헌조사 및 실험방법 = 32 3. 측정 및 분석 결과 = 48 4. 결론 = 57 제4절 Solid State Relay 용 BCD 소자의 제작 = 59 1. 서론 = 59 2. 공정 설계 및 실험 = 59 3. 결과 및 분석 = 67 4. 결론 = 75 제5절 고속 SiGe HBT 소자의 제작 = 77 1. 서론 = 77 2. 실험 및 측정 결과 = 77 3. 결론 = 83 제6절 0.8㎛ CMOS ASIC 수율 향상 = 84 제7절 결론 = 86 제3장 반도체 시설운영기술 개발 = 89 제1절 서론 = 91 제2절 반도체 종합실험실 운영 = 93 1. 반도체 실험실 공정 운영 = 93 2. 반도체 연구장비 유지보수 = 98 제3절 반도체 유틸리티 시설 운영 = 101 1. 반도체 유틸리티 운영 = 101 2. 시설의 유지 및 보수 = 106 3. 환경 관리 = 110 제4절 공정기술 개발용 원, 부 자재 관리 = 112 제5절 결론 = 114 제4장 결론 및 건의사항 = 117