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MRAM용 MR 소자/소재 및 단위공정 개발

MRAM용 MR 소자/소재 및 단위공정 개발 (6회 대출)

자료유형
단행본
개인저자
신경호, 주관연구책임
단체저자명
한국과학기술연구원
서명 / 저자사항
MRAM용 MR 소자/소재 및 단위공정 개발 = Development of MR materials/devices & unit process for MRAM / 한국과학기술연구원 [주관연구].
발행사항
[과천] :   과학기술부,   2003.  
형태사항
1책(면수복잡) : 삽도 ; 29 cm.
ISBN
일반주기
본 보고서는 "테라급나노소자개발사업(Tera level Nano deviecs)"의 세부과제임  
주관연구책임자: 신경호  
내용주기
MRAM용 MR 소재/소자 및 단위공정 개발 / 하이닉스 반도체. - 신구조 자기접합 소자기술 / 고려대학교. - MR 소자의 재료분석/신공정개발/소자특성기술연구 / 한양대학교. - MRAM 소자의 read/write 특성 측정, 해석 및 설계기술 연구 / 숭실대학교 생산기술연구소. - 자기터널접합의 특성향상을 위한 새 배리어 개발과 자기 안정화에 관한 연구 / 연세대학교
서지주기
참고문헌수록
비통제주제어
자기터널접합, 급속열처리, 스윗칭필드, 키퍼층,,
000 00000nam c2200205 k 4500
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740 ▼a Tera level Nano deviecs
740 ▼a 테라급나노소자개발사

소장정보

No. 소장처 청구기호 등록번호 도서상태 반납예정일 예약 서비스
No. 1 소장처 과학도서관/보존서고5(동양서)/ 청구기호 621.38152 2003m 등록번호 121085124 (6회 대출) 도서상태 대출가능 반납예정일 예약 서비스 B M

컨텐츠정보

목차

제1장 연구개발과제의 개요(Summary of Research Project) = 1
제2장 국내외 기술개발 현황(Foreign and Domestic Research Status) = 7
제3장 연구개발수행 내용 및 결과(Contents and Results of Research) = 11
제1절 Micromagnetic simulation을 이용한 MRAM 설계기술(MRAM design technology using micromagnetic simulation) = 11
제2절 터널배리어 제조기술(Fabrication of tunneling barrier) = 58
제3절 자기터널접합 특성향상을 위한 열처리공정기술(Annealing process for enhancement of MTJ properties) = 84
제4절 자기터널접합 소형화기술(MTJ with a sub-micron-sized junction area) = 96
제5절 신구조의 자기터널접합 제조기술(MTJ with a novel structure) = 107
제6절 신재료(Bi) 연구(Research for new material(Bi)) = 116
제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도(Achievements and Contributions) = 131
제1절 연구개발 목표 및 평가의 착안점(Purpose of researches and factors of valuation) = 131
제2절 연구범위 및 연구수행방법(Rearch field and methods) = 134
제3절 연구수행 내용 및 결과요약(Contents and summary) = 135
제4절 연구개발 목표의 달성도(Achivements) = 139
제5절 관련분야의 기술발전에의 기여도(Contributions for related research fields) = 142
제5장 연구개발결과의 활용계획(Plans for Applications of Research Results) = 145
제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보(Toreign Scientific and Technological Information Obtained During the Reseach) = 147
제7장 참고문헌(References) = 149

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