제1장 연구개발과제의 개요(Summary of Project) = 13
제1절 연구개발 과제의 목적 및 필요성(Objective and Importance) = 13
제2절 연구개발의 범위 및 방법(Contetns and Scope) = 13
제2장 국내외 기술개발 현황(Domestic and Foreign Research Activities) = 15
제1절 박막의 경도 및 탄성계수 측정(Measurement of the hardness and elastic modulus of films) = 15
제2절 밀착력(adhesion) 측정(Measurement of the adhesion of films) = 16
제3절 연구개발 내용의 수준(Level of research results) = 17
제3장 연구개발 내용 및 결과(Research results) = 18
제1절 시험방법 분석(Analysis of test methods) = 18
제2절 Nanoindentation 시험방법 개선(Improvement of nanoindentation test method) = 32
제3절 박막 고유 경도 및 탄성계수 계산을 위한 유한요소해석 program 개발(Development of finite element modeling method to calculate the intrinsic hardness and elastic modulus of thin films) = 36
제4절 Micro-cantilever beam 굽힘 시험방법 개발(Development of Micro-cantilever beam test method) = 52
제5절 밀착력 시험방법 개선(Improvement of adhesion test method) = 59
제6절 Nano-scratch 시험방법 유용성 검토(Evaluation of Nano-scratch test method) = 88
제7절 시험방법 표준화(Standardization of test methods) = 92
제4장 목표 달성도 및 관련분야 기여도(Level of Attainment and Contribution) = 100
제1절 목표 달성도(Level of Attainment) = 100
제2절 관련 분야 기여도(Level of Contribution) = 103
제5장 연구개발 결과의 활용 계획(Application Plan) = 104
제1절 추가 연구의 필요성(Necessity of additional research) = 104
제2절 타 연구에의 응용(Application to other research) = 105
제6장 연구개발 과정에서 수집한 해외과학기술정보(Foreign Science＆Technology Information Obtained during Research Period) = 106
제1절 EU-Korea 공동 과제 기획(EU-Korea Joint Research Plan) = 106
제2절 EU - 국제 과학기술 협력사업 방침(EU - International Science cooperation Policy) = 109
제3절 European research area = 112
제4절 European sixth framework program(FP6) = 113
제5절 FP6 Major projects = 115
제7장 참고문헌(References) = 116
부록(Appendixes)
부록 1(Appendix 1) ISO CD 20502 : Fine ceramics(advanced ceramics, advanced technical ceramics) Determination of adhesion of ceramic coatings by scratch testing = 117
부록 2(Appendix 2) How to Participate in European Research = 147
부록 3(Appendix 3) International Scientific Co-operation in FP6 = 163
