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SANS를 이용한 저유전율박막의 기공 특성분석

SANS를 이용한 저유전율박막의 기공 특성분석

Material type
단행본
Personal Author
최치규, 연구책임 장용준, 연구 정안수, 연구
Corporate Author
제주대학교, 주관연구
Title Statement
SANS를 이용한 저유전율박막의 기공 특성분석 = Analysis of porous property of low dielectric thin film with SANS / 주관연구책임: 최치규 ; 연구원: 장용준, 정안수 ; 주관연구기관: 제주대학교.
Publication, Distribution, etc
[과천] :   과학기술부,   2007.  
Physical Medium
68 p. : 삽도 ; 30 cm.
General Note
중사업명: 원자력연구개발사업  
세부사업명: 원자력연구개발중장기계획사업  
Bibliography, Etc. Note
참고문헌 수록
000 00000nam c2200205 k 4500
001 000045378961
005 20240926110605
007 ta
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090 ▼a 621.38152 ▼b 2007d
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500 ▼a 중사업명: 원자력연구개발사업
500 ▼a 세부사업명: 원자력연구개발중장기계획사업
504 ▼a 참고문헌 수록
700 1 ▼a 최치규, ▼e 연구책임
700 1 ▼a 장용준, ▼e 연구
700 1 ▼a 정안수, ▼e 연구
710 ▼a 제주대학교, ▼e 주관연구 ▼0 AUTH(211009)42947
710 ▼a 한국. ▼b 과학기술부 ▼0 AUTH(211009)148152
740 ▼a 원자력연구개발사업
740 ▼a 원자력연구개발중장기계획사업
945 ▼a KINS

Holdings Information

No. Location Call Number Accession No. Availability Due Date Make a Reservation Service
No. 1 Location Science & Engineering Library/Sci-Info(Stacks1)/ Call Number 621.38152 2007d Accession No. 121152427 Availability Available Due Date Make a Reservation Service B M
No. 2 Location Science & Engineering Library/Sci-Info(Stacks1)/ Call Number 621.38152 2007d Accession No. 121159032 Availability Available Due Date Make a Reservation Service B M

Contents information

Table of Contents

제1장 연구개발과제의 개요(Introduction) = 16
제2장 국내외 기술개발 현황(State of art) = 18
제3장 연구개발수행 내용 및 결과(Research of details) = 23
제4장 목표 달성도 및 관련분야에의 기여도(Degree of reaching the goal and contribution) = 62
제5장 연구 개발 결과의 활용계획(Plan of utilizing the research results) = 64
제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보(The collected scientific information of overseas during performing the research project) = 65
제7장 참고문헌(Reference) = 67

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